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芯片是信息社會的基石。近年來芯片需求迅速擴大，芯片行業(yè)發(fā)展備受關(guān)注。
在芯片制造過程中，不僅需要用到光刻機、硅片等核心設備或材料，還需要用到一種特殊氣體，業(yè)內(nèi)稱之為電子特氣。
電子特氣廣泛應用于半導體制造的各個工藝流程，參與幾乎每一個環(huán)節(jié)，對整個芯片制造來說不可或缺，有半導體制造的“血液”之稱。
近年來芯片國產(chǎn)化程度不斷提升，電子特氣作為關(guān)鍵領(lǐng)域，也在加快推進國產(chǎn)化進程。
氪氣是電子特氣家族的一員，它作為刻蝕氣體貫穿整個芯片刻蝕過程，起著清潔刻蝕表面雜質(zhì)和保護電路不被氧化的作用。
近日，由河鋼邯鋼研發(fā)生產(chǎn)的電子特氣產(chǎn)品“芯片氪”，交付高端科技客戶，質(zhì)量完全滿足客戶需求。該產(chǎn)品將作為刻蝕氣體替代進口產(chǎn)品，用于制造IDM集成電路芯片，助力芯片國產(chǎn)化。
氪氣的純度會影響到集成電路性能等關(guān)鍵指標，所以用于芯片制造的氪氣對純度要求極高，生產(chǎn)工藝難度大。隨著芯片制程的微縮，半導體生產(chǎn)對“芯片氪”等電子特氣的純度提出了更高的要求，而這類高端電子特氣領(lǐng)域長期被國外壟斷，進口價格昂貴。
國產(chǎn)“芯片氪”等電子特氣替代進口，可降低國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)制造成本，有助于提高國產(chǎn)芯片在全球芯片產(chǎn)業(yè)中的競爭力。
河鋼邯鋼加快培育壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，充分發(fā)揮省級高純特種氣體工程實驗室作用，積極開展航天級稀有氣體研制、電子芯片用特種氣體配制及稀有氣體分離設備關(guān)鍵部件研制，不斷加大氪、氖、氙、氬、氖等特種氣體以及混合氣體的市場開發(fā)力度，提升氣體產(chǎn)品競爭力。
針對芯片制造對氣體純度和雜質(zhì)控制的極高要求，河鋼邯鋼高純特種氣體工程實驗室技術(shù)人員，突破了電子特氣國產(chǎn)化的諸多技術(shù)瓶頸，掌握了多項特氣提純關(guān)鍵技術(shù)，采用自主研發(fā)的全自動配氣裝置，配制出多種電子級混合氣，填補了國內(nèi)空白。
此次供貨，河鋼邯鋼根據(jù)客戶工藝流程和所需刻蝕氣體的品質(zhì)需求，制定了專屬工藝方案，嚴格過程質(zhì)量控制，保證了產(chǎn)品高質(zhì)量交付，獲得客戶高度認可。下一步，雙方還將就其他氣體產(chǎn)品開展合作。
摘自 河鋼邯鋼微信公眾號
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- [責任編輯：kangmingfei]
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